一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法

摘要

本发明公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上，微动平台优选为压电陶瓷。该新型平面反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动平面反射镜发生位移，配合测量平面反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高激光干涉仪的测量精度。

主权项

一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、微动平面反射镜(3)、测量平面反射镜(4)、光电探测器(5)、微动平台(6)，其特征在于，所述微动平面反射镜(3)连接在微动平台(6)上。