| 摘要 |
본 발명은, 기판의 높이의 차이를 정확하게 검출 가능한 화상을 취득하는 것이 가능한 검출 방법, 마이크로어레이의 해석 방법 및 형광 판독 장치를 제공하는 것이다. 렌즈에 의해 집광된 레이저광을 요철 형상을 갖는 기판에 조사하고, 기판으로부터의 반사광 및/또는 산란광의 수광 강도를 화상 데이터로서 취득하여 요철 형상의 높이의 차이를 검출하는 검출 방법이며, 렌즈의 초점 위치보다도 렌즈에 가까운 위치에 기판의 광조사면을 배치하고, 광조사면으로부터의 반사광 및/또는 산란광을 검출광으로서 수광하여, 수광한 광의 강도의 변화에 기초하여 기판의 높이의 차이를 검출한다. |
