| 主权项 |
一种连续式物理真空镀膜设备，连续产制太阳能电池，其包含： 一真空镀膜装置，包括具有复数独立的镀膜腔的镀膜室、复数分别设置于所述镀膜腔的多源蒸镀单元及抽引所述镀膜室成适于蒸镀之负压状态的第一抽真空单元，所述多源蒸镀单元具有形成有供蒸镀用的图案的载体、移动所述载体对应定位于其中一预定的太阳能电池的移动件及可移动地对应定位有所述载体的太阳能电池并对所述太阳能电池进行蒸镀的蒸镀件； 一缓冲真空装置，包括具有第一入料口和连通所述镀膜室的第一出料口之清洁缓冲腔的前缓冲真空室、具有连通所述镀膜室的第二入料口和第二出料口之缓冲真空腔的后缓冲真空室、设置于所述前缓冲真空室并对位于所述清洁缓冲腔中的其中至少一个太阳能电池可移动地进行离子清洁的清洁单元、分别抽引所述清洁缓冲腔和所述缓冲真空腔成低于大气压力之预定负压状态的第二抽真空单元； 一准备装置，包括具有第三入料口和连通所述前缓冲真空室的第一入料口的第三出料口的前置准备腔的入料准备室、具有连通所述后缓冲真空室的第二出料口的第四入料口和第四出料口之完成腔的出料准备室、分别抽引所述前置准备腔和完成腔成低于大气压力之预定负压状态的第三抽真空单元； 一传送装置，输送复数太阳能电池依序通过所述第三入料口、所述前置准备腔、所述第三出料口、所述第一入料口、所述清洁缓冲腔、所述第一出料口、所述镀膜腔、所述第二入料口、所述缓冲真空腔、所述第二出料口、所述第四入料口、所述完成腔及所述第四出料口；及 一闸门单元，包括复数闸门及控制所述闸门的闸门控制器，所述闸门控制器控制所述闸门分别可开启地封闭所述第三入料口、所述第三出料口和第一入料口、所述第一出料口、所述第二入料口、所述第二入出料口和所述第四入料口及所述第四出料口，且当其中一太阳能电池到达时即令所述一对应的所述闸门开启并在所述太阳能电池通过后即令所述闸门封闭，同时相邻的两闸门不会同时开启。 |
