| 发明名称 | 湿式蚀刻用夹具 | ||
| 摘要 | 本发明的湿式蚀刻用夹具（1）在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持被加工物，其中，具有：保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口（17）的吸引部、和以包围吸引部的周围的方式设置且能够以包围被加工物的第一面的规定区域的方式与第一面紧密接触的第一紧密接触部（15）；与吸引口连通的排气通路；止回阀（12），被设置于排气通路，切断空气向吸引部的流动，并允许来自吸引部的空气的流动。 | ||
| 申请公布号 | CN102859663B | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201080066421.4 | 申请日期 | 2010.04.26 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 西本阳一郎 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;C23F1/08(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 黄永杰 |
| 主权项 | 一种湿式蚀刻用夹具，在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持所述被加工物，其特征在于，具有：保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口的吸引部、和以包围所述吸引部的周围的方式设置且能够以包围所述被加工物的第一面的规定区域的方式与所述第一面紧密接触的第一紧密接触部；与所述吸引口连通的排气通路；止回阀，其被设置于所述排气通路，切断空气向所述吸引部的流动，并允许来自所述吸引部的空气的流动，所述保持部至少具有两个，朝相互相反的方向进行设置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||