11.4～12.5μm透过长波红外滤光片及制备方法

摘要

本发明涉及11.4～12.5μm透过长波红外滤光片及制备方法，属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底和长、短波通膜系；长波通膜系结构为（0.5hl0.5h）^9（0.574l1.148h0.574l）^5（0.36h0.72l0.36h）^5，中心波长8100nm；短波通膜结构为（lh）^8，中心波长16200nm；l和h分别为硫化锌和碲化铅膜层；通过真空中加热基底，离子源通氩气下电阻蒸发在基底两侧沉积长、短波通膜系，冷却后制得。该滤光片在11.4～12.5μm透过率高，0.9～11.25μm和12.65～20μm宽截止，膜系层数较少，满足遥感探测系统使用要求；该方法简便稳定，成品率高。

主权项

一种11.4～12.5μm透过长波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和基底另一侧的短波通膜系；长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：(0.5hl0.5h)^9(0.574l1.148h0.574l)^5(0.36h0.72l0.36h)^5，中心波长为8100nm；h为碲化铅膜层，0.5h表示碲化铅膜层厚度为0.5个基本厚度，1.148h表示碲化铅膜层厚度为1.148个基本厚度，0.36h表示碲化铅膜层厚度为0.36个基本厚度，l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，0.574l表示硫化锌膜层厚度为0.574个基本厚度，0.72l表示硫化锌膜层厚度为0.72个基本厚度，基本膜堆(0.5hl0.5h)的周期数为9，基本膜堆(0.574l1.148h0.574l)和基本膜堆(0.36h0.72l0.36h)的周期数均为5；短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：(lh)^8，中心波长为16200nm；l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，基本膜堆(lh)的周期数为8；所述基本厚度为长波通膜系或短波通膜系光学厚度中心波长的四分之一。