发明名称 |
表面特征表征 |
摘要 |
本文中所提供的是一种装置,包括:光子检测器阵列,配置成接收从物品的表面中的特征散射的光子;以及表征装置,用于表征该物品的该表面中的这些特征,其中此表征装置对比了与从该物品的该表面中的这些特征散射的两组光子相对应的来自光子检测器阵列的信号,并且此两组光子分别地源自不同位置处的光子发射器。 |
申请公布号 |
CN104704320A |
申请公布日期 |
2015.06.10 |
申请号 |
CN201380053262.8 |
申请日期 |
2013.08.12 |
申请人 |
希捷科技有限公司 |
发明人 |
J·艾和;K·麦克劳林;S·王;H·洛特 |
分类号 |
G01B11/24(2006.01)I;G01N21/956(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
姬利永 |
主权项 |
一种装置,包括:两个光子发射器,配置成将光子发射到物品的表面上;光子检测器阵列,包括配置成接收从所述物品的表面中的特征散射的光子的多个光子检测器;以及映射装置,用于映射所述物品的表面中的特征,其中所述映射装置提供分别地对应于所述两个光子发射器的所述物品的表面中的特征的两个映射。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |