步进扫描光刻机控制方法与系统

摘要

本发明涉及一种步进扫描光刻机控制方法与系统，其方法为：根据步进扫描光刻机的工作步骤，将光刻机各个分系统分类，第一部分由第一控制单元控制，第二部分由第二控制单元控制，其中，所述第一控制单元控制的分系统第一部分全程参与步进扫描光刻机的工作步骤，所述第二控制单元控制的分系统第二部分分时段参与步进扫描光刻机的工作步骤，工作站或服务器通过以太网网络分别与所述第一控制单元和第二控制单元相连，所述第一控制单元与第二控制单元通过同步总线和光纤接口进行数据传输。本发明通过将各分系统分类控制，充分利用了主控制计算机的计算能力，减少了分系统计算机的使用数量，提高了整机的控制效率，降低了硬件成本。

主权项

一种步进扫描光刻机控制方法，其特征在于，根据步进扫描光刻机的工作步骤，将光刻机各个分系统分类，第一部分由第一控制单元控制，第二部分由第二控制单元控制，其中，所述第一控制单元控制的分系统第一部分全程参与步进扫描光刻机的工作步骤，所述第二控制单元控制的分系统第二部分分时段参与步进扫描光刻机的工作步骤，工作站或服务器通过以太网网络分别与所述第一控制单元和第二控制单元相连，所述第一控制单元与第二控制单元通过同步总线和光纤接口进行数据传输。