成膜方法以及成膜装置

摘要

提供一种成膜方法以及成膜装置，能够抑制成膜中的被膜的氧化，能够使装置简化且低价，并且不耗费精力和时间就能够更换成膜对象的基材。成膜装置(100)使原料的粉末(2)与气体一并加速，将该粉末(2)保持为固相状态向基材(1)的表面喷涂，使该粉末(2)堆积，由此进行成膜，其中，所述成膜装置具备：腔室(10)；保持部(11)，其设置在该腔室(10)，保持基材(1)；喷嘴(12)，其将粉末(2)与非活性气体一并喷射；以及驱动部(15)，其使喷嘴(12)与保持部(11)中的一者相对于另一者移动，利用喷嘴(12)所喷射的非活性气体使腔室(10)内成为正压。

主权项

一种成膜方法，其使原料的粉末与气体一并加速，将该粉末以保持固相状态的方式直接向基材的表面喷涂，并使该粉末堆积，由此进行成膜，所述成膜方法的特征在于，所述成膜方法包括以下工序：基材配置工序，在该基材配置工序中，将所述基材配置在腔室内；以及成膜工序，在该成膜工序中，将所述粉末以及非活性气体从喷嘴朝向所述基材喷射，利用所述非活性气体使所述腔室内处于正压，并且使所述粉末堆积在所述基材的表面上，形成被膜。