发明名称 |
太阳能电池单元的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及长期可靠性优良的高效的太阳能电池单元的制造方法,包括:工序(7),在至少具有pn结的半导体基板的受光面侧形成了的反射防止膜上涂覆包含导电材料的膏状的电极剂;以及电极烧成工序(9),具有以仅对上述电极剂涂覆部分照射激光而使上述导电材料的至少一部分烧成的方式进行加热的局部加热处理(工序(9a))、以及将上述半导体基板整体加热到低于800℃的温度的整体加热处理(工序9(b))。 |
申请公布号 |
CN104704639A |
申请公布日期 |
2015.06.10 |
申请号 |
CN201380051963.8 |
申请日期 |
2013.08.23 |
申请人 |
信越化学工业株式会社 |
发明人 |
村上贵志;渡部武纪;大塚宽之 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
陈华成 |
主权项 |
一种太阳能电池单元的制造方法,其特征在于,包括:在至少具有pn结的半导体基板的受光面侧形成了的反射防止膜上涂覆包含导电材料的膏状的电极剂的工序;以及电极烧成工序,具有以仅对所述电极剂涂覆部分照射激光而使所述导电材料的至少一部分烧成的方式进行加热的局部加热处理、以及将所述半导体基板整体加热到低于800℃的温度的整体加热处理。 |
地址 |
日本东京 |