柱状样品表面涂层工件架

摘要

本发明提供了一种柱状样品表面涂层工件架，所述工件架中的驱动电机带动驱动齿轮转动，同时带动主齿轮转动；自传齿轮通过自转齿轮托架与主齿轮固定连接，主齿轮带动自转齿轮在固定齿轮上转动；固定齿轮与固定中间轴固定连接，固定中间轴穿过主齿轮固定在真空镀膜设备的基座上。其中自转齿轮和自转齿轮托架通过轴承连接，主齿轮和固定中间轴通过轴承连接。工作时，柱状样品在自转齿轮的带动下自转，同时围绕固定中间轴公转，可以得到柱状样品表面均匀涂层。本发明的柱状样品表面涂层工件架结构简单、便于拆卸，能够在真空室内使用，能够获得柱状样品表面的均匀涂层。

主权项

一种柱状样品表面涂层工件架，其特征在于，所述的工件架包括驱动电机（1）、驱动齿轮（2）、主齿轮（3）、固定中间轴（4）、固定齿轮（5）、自转齿轮托架（6）、自转齿轮（7）、柱状样品固定部件（8）；其连接关系是，所述的驱动电机（1）与驱动齿轮（2）连接，驱动齿轮（2）与主齿轮（3）连接；在所述主齿轮（3）的轴心设置有固定中间轴（4），主齿轮（3）与固定中间轴（4）通过轴承连接；所述的固定中间轴（4）的一端固定设置有固定齿轮（5），另一端穿过主齿轮（3）固定外接在真空镀膜设备的基座上；所述的固定齿轮（5）与主齿轮（3）平行设置；在所述的主齿轮（3）的圆周上均匀设置有自转齿轮托架（6），自转齿轮托架（6）与主齿轮（3）固定连接；所述的固定齿轮（5）的圆周上均匀固定设置有自转齿轮（7）；所述的自转齿轮（7）的一端与自转齿轮托架（6）通过轴承连接，另一端与柱状样品固定部件（8）固定套接。