| 发明名称 | 微机电系统麦克风构件和具有所述微机电系统麦克风构件的设备 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种容性MEMS麦克风构件，其能够可选地运行用于检测声学信号(麦克风模式)或用于检测在限定的频率范围中的超声波信号(超声波模式)。在所述MEMS麦克风构件(100)的层结构中至少两个承载元件(11、12)相叠地并且相互间隔开地构造，所述至少两个承载元件用于电容器装置的两个电极侧，所述电容器装置用于信号检测。所述两个承载元件中的至少一个(11)是声压敏感的，其中，所述两个电极侧中的至少一个包括能够相互独立地电接触的至少两个电极区段(51、52)，所述至少两个电极区段连同另一电极侧的至少一个电极(11)形成相互独立的子电容根据本发明，如果所述声压敏感的承载元件(11)以限定的频率的超声波被激励进行更高模式的振动，则所述电极区段(51、52)的形状和平面延展通过所述声压敏感的承载元件的振动波腹的位置和延展确定。 | ||
| 申请公布号 | CN104703080A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201410717696.X | 申请日期 | 2014.12.01 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | C·谢林;R·舍本;R·艾伦普福特 |
| 分类号 | H04R1/08(2006.01)I;H04R31/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 郭毅 |
| 主权项 | 一种MEMS麦克风构件(100)，在所述麦克风构件的层结构中至少两个承载元件(11、12)相叠地并且相互间隔开地构造，所述至少两个承载元件用于电容器装置的两个电极侧，所述电容器装置用于信号检测，其中，所述两个承载元件中的至少一个承载元件(11)是声压敏感的，其中，所述两个电极侧中的至少一个包括能够相互独立地电接触的至少两个电极区段(51、52)，所述至少两个电极区段连同另一电极侧的至少一个电极(11)形成相互独立的子电容，其特征在于，如果所述声压敏感的承载元件(11)以限定的频率的超声波被激励进行更高模式的振动，则所述电极区段(51、52)的形状和平面延展通过所述声压敏感的承载元件的振动波腹的位置和延展确定。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||