| 摘要 |
<p>본 발명은 분배 시스템에 관한 것으로서, 분배 시스템은 프레임과, 프레임에 이동 가능하게 결합되는 분배 유닛 갠트리와, 분배 유닛 갠트리에 결합되는 분배 유닛을 포함한다. 분배 유닛은 프레임에 결합되는 비전 시스템 갠트리와, 비전 시스템 갠트리에 결합되는 비전 시스템을 더 포함한다. 제어기는 분배 유닛 갠트리, 분배 유닛, 비전 시스템 갠트리 및 비전 시스템에 결합된다. 제어기는 전자 기판 상에 제공되는 기준 이미지를 획득하고, 전자 기판 상에 위치설정되는 대상의 적어도 일부분의 이미지를 획득하고, 대상을 분배 유닛에 대해 배향시키며, 그리고 대상을 전자 기판에 고정시키기 위해 분배 작업을 수행하도록 구성된다. 또한, 본 발명은 기판 상에 물질을 분배하는 방법에 관한 것이다.</p> |
