| 摘要 |
<p>크라이오펌프의 재생에 있어서 물의 배출을 촉진한다. 크라이오펌프의 재생방법은, 크라이오펌프 용기의 배기와 퍼지가스의 공급을 제1 압력 범위에서 교대로 행하는 것을 포함하는 제1 배출공정(S12)과, 제1 압력 범위를 하회하는 저압영역까지 크라이오펌프 용기를 배기하는 것을 포함하는 제2 배출공정(S18)을 구비한다. 제2 배출공정은, 제2 배출공정을 종료할지 여부를 저압영역에서 적어도 1회 판정하는 것과, 제2 배출공정을 종료할지 여부의 최초의 판정보다 전에, 크라이오펌프 용기에 퍼지가스를 공급하는 것을 포함한다.</p> |
