| 摘要 |
<p>본 발명은, 플라즈마 CVD 장비의 히터에 걸리는 전압 신호 변화를 통해 상기 히터의 결함을 판단할 수 있으므로 상기 히터의 교체 시기를 확인할 수 있는 이점이 있다. 또한, 전압 신호를 웨이팅 구간과 RF구간으로 구분하고, 상기 웨이팅 구간에서는 영교차율을 결함 기준과 비교하고, 상기 RF구간에서는 평균교차율을 결함 기준과 비교함으로써, 상기 히터의 결함을 보다 정확하게 판단할 수 있다. 또한, 가우시안 혼합 모델 기반의 결함 진단 방법을 사용하여, 웨이팅 구간과 RF구간의 각 로그-우도값을 결함 기준과 비교함으로써, 상기 히터의 결함을 보다 정확하게 판단할 수 있다. 또한, 전압 신호를 웨이팅 구간과 RF구간으로 구분하고, 상기 웨이팅 구간에서는 영교차율을 결함 기준과 비교하고, 상기 RF구간에서는 쇼트타임 에너지를 결함 기준과 비교함으로써, 상기 히터의 결함을 보다 정확하게 판단할 수 있다.</p> |
