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<p>큰 지름의 웨이퍼를 위한 전면 개방 반도체 웨이퍼 용기는 용기부 및 도어를 포함한다. 상기 용기부는 폐쇄된 좌측, 폐쇄된 우측, 폐쇄된 후면, 개방된 전면, 및 웨이퍼들을 수령하고 보유하기 위한 복수의 슬롯들을 포함하는 개방된 내부를 포함한다. 상기 도어는 상기 개방된 전면을 폐쇄하기 위해 상기 용기부에 부착가능하고, 선택적으로 상기 용기부에 걸쇠 잠금될 수 있다. 상기 용기부는 큰 지름의 웨이퍼, 특히 450 mm 웨이퍼들을 수용하기 위한 수단을 포함한다. 향상된 구조적 견고성, 및 웨이퍼 안착 특성들 뿐만 아니라, 최적화된 처짐 조절을 제공한다.</p> |
