| 摘要 |
비응축성 기체의 배기에 적합한 크라이오펌프, 및 진공배기방법을 제공한다. 크라이오펌프(10)는, 실드개구(26)를 구획하는 실드전단(28)과, 실드바닥부(34)와, 실드전단(28)과 실드바닥부(34)와의 사이에 뻗어 있는 실드측부(36)를 구비하는 방사실드(30)와, 방사실드(30)보다 저온으로 냉각되는 크라이오패널 어셈블리(20)를 구비한다. 크라이오패널 어셈블리(20)는, 복수의 제1 흡착패널(60)을 구비하는 제1 패널배열(61)과, 각각이 복수의 제2 흡착패널(62)을 구비하는 복수의 제2 패널배열(63)을 구비한다. 제1 패널배열(61)은, 각각이 실드측부(36)에 노출되어 있는 다수의 흡착구획을, 복수의 제2 패널배열(63)과 협동하여 격자형상으로 형성한다. |
