SEMICONDUCTOR DEVICE

摘要

반도체 기판 상에 주기적으로 세워서 설치하는 복수의 원통형 또는 원주형의 축적 전극과, 축적 전극의 벽면을 덮는 용량 절연막과, 용량 절연막 상에 축적 전극과 대향하는 제1 도전막을 포함하는 커패시터를 구비한 반도체 장치로서, 축적 전극이 배치되는 제1 방향에 대하여 인접하는 커패시터의 제1 도전막끼리가 접하고, 축적 전극이 배치되는 나머지 다른 방향에 대하여 인접하는 커패시터의 제1 도전막끼리가 떨어져 있다.