ANTENNA AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

摘要

이 안테나는, 유전체창(16)과, 유전체창(16)의 한쪽 면에 마련된 슬롯판(20)을 구비하고 있다. 슬롯판(20)은, 2개의 슬롯으로 이루어지는 슬롯쌍을 복수개 갖는다. 복수개의 슬롯쌍은, 슬롯판(20)의 중심 위치를 중심으로 하여 동심원 형상으로 배치되어 있다. 각 슬롯쌍은, 슬롯판(20)의 중심 위치로부터 각 슬롯쌍을 향해서 연장된 축선이 겹치지 않는 위치에 마련되어 있다.