| 摘要 |
<p>인코더는 제 1 측정축을 따른 슬릿 배열체 및 슬릿 배열체에 대하여 상대적으로 이동 가능한 광학 모듈을 구비한다. 광학 모듈은 슬릿 배열체의 일부를 조사하는 점광원과, 제 2 측정축을 따른 복수의 수광 소자를 포함하고 점광원에 대하여 오프셋 한 위치에 배치된 수광 배열체를 포함한다. 수광 소자는 점광원으로부터 조사되고 반사 슬릿에 의해 반사된 광을 수신한다. 복수의 수광 소자는 광원에 더 가까운 수광 소자는 폭 방향으로 더 짧은 길이를 포함하도록 그리고 광원에 대하여 수광 소자의 반대측 상의 단부는 제 2 측정축을 따른 위치에 나란하게 배치되도록 형상을 각각 포함한다.</p> |
