| 摘要 |
<p>Structure d'encapsulation comportant au moins : - une cavité fermée hermétiquement dans laquelle un micro-dispositif est encapsulé, - un substrat (102) dont une face (115) délimite un côté de la cavité, - au moins deux tranchées (116) formées à travers ladite face du substrat, des volumes intérieurs de chacune des tranchées communiquant entre eux, - des premières portions de matériau getter (112) recouvrant au moins en partie des parois latérales des tranchées.</p> |
