发明名称 一种吸取芯片的装置及方法
摘要 本发明公开了一种吸取FC芯片的装置及其应用方法。其中,该装置包括吸台、设在所述吸台上的吸嘴、及设在所述吸嘴上的吸取部。吸取部是多边吸唇。吸嘴上设置有多边吸唇与吸台内部相通的真空吸孔。多边吸唇是层叠间隔排列且形成多个吸唇部的软性体,多边吸唇中每个吸唇能够形成独立的密封范围。本发明具有吸附芯片牢固和吸附面积广,及操作方便的效果。
申请公布号 CN104681476A 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201310637367.X 申请日期 2013.12.02
申请人 无锡华润安盛科技有限公司 发明人 魏元华;王伦波;刘晓明
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 代理人 庞聪雅
主权项 一种吸取芯片的装置,其特征在于,该装置包括吸台、设在所述吸台上的吸嘴、及设在所述吸嘴上的吸取部;所述的吸取部是多边吸唇;所述的吸嘴上设置有多边吸唇与吸台内部相通的真空吸孔;所述的多边吸唇是层叠间隔排列且形成多个吸唇部的软性体;所述的多边吸唇中每个吸唇部能够形成独立的密封范围。
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