发明名称 |
一种吸取芯片的装置及方法 |
摘要 |
本发明公开了一种吸取FC芯片的装置及其应用方法。其中,该装置包括吸台、设在所述吸台上的吸嘴、及设在所述吸嘴上的吸取部。吸取部是多边吸唇。吸嘴上设置有多边吸唇与吸台内部相通的真空吸孔。多边吸唇是层叠间隔排列且形成多个吸唇部的软性体,多边吸唇中每个吸唇能够形成独立的密封范围。本发明具有吸附芯片牢固和吸附面积广,及操作方便的效果。 |
申请公布号 |
CN104681476A |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201310637367.X |
申请日期 |
2013.12.02 |
申请人 |
无锡华润安盛科技有限公司 |
发明人 |
魏元华;王伦波;刘晓明 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
无锡互维知识产权代理有限公司 32236 |
代理人 |
庞聪雅 |
主权项 |
一种吸取芯片的装置,其特征在于,该装置包括吸台、设在所述吸台上的吸嘴、及设在所述吸嘴上的吸取部;所述的吸取部是多边吸唇;所述的吸嘴上设置有多边吸唇与吸台内部相通的真空吸孔;所述的多边吸唇是层叠间隔排列且形成多个吸唇部的软性体;所述的多边吸唇中每个吸唇部能够形成独立的密封范围。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区锡梅路55号 |