流体控制器用执行机构

摘要

提供一种流体控制器用执行机构，不需要用于将内侧弹簧推压件固定在外壳上的多个螺栓，因而结构简单且组装不耗费工时，并且组装后能够从外部调节弹压部件的弹压力。内侧弹簧推压件(15)具有轴部(22)和配置在轴部(22)的下端部的圆筒部(23)，通过圆筒部(23)的下端推压弹压部件(12)的贯通孔(12a)的上侧周缘部。轴部(22)将外侧弹簧推压件(16)贯通后向上方延伸。在外壳(11)的顶壁(11d)上螺合有调节螺钉(19)，该调节螺钉(19)的下端与内侧弹簧推压件(15)的轴部(22)的上表面抵接从而将内侧弹簧推压件(15)定位。

主权项

一种流体控制器用执行机构，具有：安装在主体上方的外壳；弹压部件，其由在中央部具有贯通孔的多片圆盘状隔膜簧构成、并通过贯通孔的下侧周缘部将阀杆向下方弹压；将弹压部件的贯通孔的上侧周缘部向下方推压的内侧弹簧推压件；将弹压部件的外周缘部向下方推压的外侧弹簧推压件；以及通过导入操作气体而将外侧弹簧推压件向下方推压的操作气体导入室，弹压部件在操作气体未被导入到操作气体导入室的状态下，相对于自然状态下的向下方凸出的形状，以凸出量变小的方式弹性变形，从而将阀杆向下方弹压、将外侧弹簧推压环向上方弹压；通过向操作气体导入室导入操作气体，外侧弹簧推压件被向下方推压，从而使弹压部件变形为向上方凸出的形状，所述流体控制器用执行机构的特征在于，内侧弹簧推压件具有轴部和配置在轴部的下端部的圆筒部，通过圆筒部的下端推压弹压部件的贯通孔的上侧周缘部，轴部将外侧弹簧推压件贯通后向上方延伸，在外壳的顶壁上螺合有调节螺钉，该调节螺钉的下端与内侧弹簧推压件的轴部的上表面抵接从而将内侧弹簧推压件定位。