| 摘要 |
弾性波素子部が臨む中空部のリーク不良が生じ難い、弾性波装置を提供する。圧電基板２上に、ＩＤＴ電極を有する複数の弾性波素子部が構成されており、各弾性波素子部が臨む中空部を形成するように圧電基板２上に弾性波素子部を囲む支持層１６が設けられており、該支持層１６上にカバー部材が積層されて弾性波素子部が臨む各中空部が構成されており、支持層１６が、第１の支持層１７と、第２の支持層１８とを有し、第１の支持層１７が圧電基板２の外周縁に沿っており、第２の支持層１８が第１の支持層１７で囲まれた領域内に位置しており、各弾性波素子部が存在する中空部を有するように弾性波素子部の周りに設けられており、中空経路１９が第１の支持層１７と第２の支持層１８との間に設けられており、かつ中空経路１９が少なくとも２個の中空部を連通するように設けられている、弾性波装置１。 |
