一种激光器在线监测系统

摘要

本发明涉及一种双谱段激光在线监测与调试系统的研究，主要用于各类激光器光学系统的检测、调试，尤其是高功率激光器光学系统装调、检测阶段的应用。本发明提供一种激光器在线监测系统及监测方法来保证激光器能在线快速诊断其装调质量是否满足使用要求，解决了现有的双谱段激光器在装调与检测时存在光束质量难以评价的技术问题。本发明首次利用双激光器检测法定量的评价了激光器光学系统装调的成像质量，解决了这种大功率激光器装调阶段无法实时监测装配精度是否满足设计要求的难题。

主权项

一种激光器在线监测系统，其特征在于：包括沿光路设置的主扩束系统(1)和第一半透半反射镜(2)，所述第一半透半反射镜(2)的透射光路上设置有第一探测器(3)，所述第一半透半反射镜(2)的反射光路上设置有第二半透半反射镜(5)，所述第二半透半反射镜(5)的一个透射光路上依次设置有聚焦镜(14)、第二反射镜(15)、第二探测器(16)，所述第二半透半反射镜(5)的另一个透射光路上设置有角反射镜(4)，所述第二半透半反射镜(5)的反射光路上设置有第三半透半反射镜(6)；所述第三半透半反射镜(6)的反射光路上依次设置有第一扩束器(7)、第一隔离器(8)和检测激光器(9)，所述第三半透半反射镜(6)的透射光路上依次设置有第一反射镜(13)、第二扩束器(12)、第二隔离器(11)和调试激光器(10)，所述主扩束系统(1)的入射窗口与被测激光器的光腔(17)相对。