发明名称 |
薄膜厚度在线测量装置及方法 |
摘要 |
本发明提供了一种薄膜厚度在线测量装置及其测量方法,包括固定于地面上的机架,机架上方设置有上支座和下支座,上支座和下支座中间留有空隙,两个直线导轨分别安装于上支座和下支座上,伺服电机驱动其中一个导轨上的滑块移动,两直线导轨通过一根同步轴连接,使两直线导轨上的滑块实现同步运动,两滑块上分别设置有激光位移传感器,两个激光位移传感器相对设置,它们发射出的光束重合,本发明还设置有前后两个挑膜机构。本发明测量精度高,速度快,其采用的是非接触的测量方式,不会划伤待测薄膜,本发明设置于薄膜生产线最后一个环节收卷之前,其不影响整个生产流程,在正常的生产过程中完成了测量工作,大大节省了时间并减少劳动强度。 |
申请公布号 |
CN104677300A |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201510071717.X |
申请日期 |
2015.02.11 |
申请人 |
北海和思科技有限公司 |
发明人 |
陈平 |
分类号 |
G01B11/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 |
代理人 |
靳浩 |
主权项 |
一种薄膜厚度在线测量装置,其特征在于,包括固定于地面上的机架,所述机架上方设置有上支座和下支座,所述上支座和下支座中间留有空隙,两个直线导轨分别安装于所述上支座和下支座上,一伺服电机驱动其中一个导轨上的滑块移动,所述两直线导轨通过一根同步轴连接,使所述两直线导轨上的滑块实现同步运动,所述两滑块上分别设置有激光位移传感器,所述两个激光位移传感器相对设置,它们发射出的光束重合,在所述上支座和下支座的左右两侧分别设置有挑膜机构。 |
地址 |
536000 广西壮族自治区北海市工业园中电产业园北09 |