半导体微波炉及其半导体微波源

摘要

本发明公开了一种半导体微波炉及其半导体微波源，其中半导体微波炉包括：本体；波导盒；半导体微波源，其包括：信号源；功率分配器，其具有第一输入端和N个输出端，功率分配器的第一输入端与信号源相连，功率分配器按照预设比例对第一微波信号的功率进行分配以生成N个频率相同的第二微波信号；N个驱动放大器，每个驱动放大器用于将对应的第二微波信号进行驱动放大；功率合成器，用于将N个驱动放大后的第二微波信号合成为第三微波信号；微波转换装置，微波转换装置用于将第三微波信号馈入到波导盒中；控制装置，控制装置用于控制信号源产生第一微波信号。该半导体微波炉共用一个信号源，保证工作在同一个频率，从而实现高效率的功率输出。

主权项

一种半导体微波炉，其特征在于，包括：本体，所述本体具有腔室；波导盒，所述波导盒设置在所述本体上；半导体微波源，所述半导体微波源包括：信号源，所述信号源用于产生第一微波信号；功率分配器，所述功率分配器具有第一输入端和N个输出端，所述功率分配器的第一输入端与所述信号源相连，所述功率分配器按照预设比例对所述第一微波信号的功率进行分配以生成N个频率相同的第二微波信号，所述N个频率相同的第二微波信号对应所述N个输出端进行输出，其中，N为大于等于2的整数；N个驱动放大器，所述N个驱动放大器与所述N个输出端对应相连，每个所述驱动放大器用于将对应的第二微波信号进行驱动放大；功率合成器，所述功率合成器具有N个输入端和第一输出端，所述N个输入端与所述N个驱动放大器对应相连，所述功率合成器用于将N个驱动放大后的第二微波信号合成为第三微波信号，并通过所述第一输出端进行输出；微波转换装置，所述微波转换装置与所述第一输出端和所述波导盒分别相连，所述微波转换装置用于将所述第三微波信号馈入到所述波导盒中，以使所述第三微波信号传递到所述腔室中；控制装置，所述控制装置用于控制所述信号源产生所述第一微波信号。