6000nm长波通红外滤光敏感元件

摘要

本实用新型公开了一种6000nm长波通红外滤光敏感元件，包括以Si为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本实用新型所得到的一种6000nm长波通红外滤光敏感元件，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件5％Cut on=6000±300nm，7500～13500nm，Tavg≥70%，400～5500nm，Tavg≤0.1%，T≤3.0%。

主权项

一种6000nm长波通红外滤光敏感元件，包括以Si为原材料的基板（2），以Ge、ZnS为第一镀膜层（1）和以Ge、ZnS为第二镀膜层（3），且所述基板（2）设于第一镀膜层（1）与第二镀膜层（3）之间，其特征是所述第一镀膜层（1）由内向外依次排列包含有237nm厚度的Ge层、171nm厚度的ZnS层、119nm厚度的Ge层、107nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、186nm厚度的ZnS层、111nm厚度的Ge层、205nm厚度的ZnS层、85nm厚度的Ge层、205nm厚度的ZnS层、78nm厚度的Ge层、254nm厚度的ZnS层、147nm厚度的Ge层、249nm厚度的ZnS层、105nm厚度的Ge层、169nm厚度的ZnS层、121nm厚度的Ge层、176nm厚度的ZnS层、213nm厚度的Ge层、228nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、285nm厚度的ZnS层、134nm厚度的Ge层、350nm厚度的ZnS层、107nm厚度的Ge层、418nm厚度的ZnS层、128nm厚度的Ge层、273nm厚度的ZnS层、240nm厚度的Ge层、158nm厚度的ZnS层、252nm厚度的Ge层、118nm厚度的ZnS层、294nm厚度的Ge层、1136nm厚度的ZnS层；所述的第二镀膜层（3）由内向外依次排列包含有207nm厚度的Ge层、302nm厚度的ZnS层、248nm厚度的Ge层、372nm厚度的ZnS层、215nm厚度的Ge层、383nm厚度的ZnS层、226nm厚度的Ge层、400nm厚度的ZnS层、212nm厚度的Ge层、445nm厚度的ZnS层、207nm厚度的Ge层、429nm厚度的ZnS层、211nm厚度的Ge层、336nm厚度的ZnS层、255nm厚度的Ge层、502nm厚度的ZnS层、222nm厚度的Ge层、785nm厚度的ZnS层、202nm厚度的Ge层、575nm厚度的ZnS层、402nm厚度的Ge层、322nm厚度的ZnS层、377nm厚度的Ge层、684nm厚度的ZnS层、161nm厚度的Ge层、890nm厚度的ZnS层、293nm厚度的Ge层、408nm厚度的ZnS层、354nm厚度的Ge层、1250nm厚度的ZnS层。