发明名称 有機高分子薄膜の形成方法及び形成装置
摘要
申请公布号 JP5728560(B2) 申请公布日期 2015.06.03
申请号 JP20130229004 申请日期 2013.11.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/12 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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