发明名称 |
用于真空隔绝的管路的适配器 |
摘要 |
本发明涉及一种真空适配器,其用于将真空隔绝的冷却剂管路(11、12、22、23)从周围大气环境穿引到真空加工设备中,所述真空适配器具有中间容腔(2),所述中间容腔(2)一方面与真空隔绝的导入管路的至少一个隔绝中间腔(32、33)连接并且另一方面与真空泵连接。泵功率至少暂时被用于将围绕所述冷却剂管路(22、23)的隔绝中间腔抽成真空。 |
申请公布号 |
CN104685285A |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201380024949.9 |
申请日期 |
2013.05.06 |
申请人 |
欧瑞康先进科技股份公司 |
发明人 |
M·布勒斯 |
分类号 |
F16L59/14(2006.01)I;F16L41/03(2006.01)I |
主分类号 |
F16L59/14(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
梁冰;胡斌 |
主权项 |
真空适配器(4),用于将冷却剂管路(11、12、22、23)穿引到带有真空腔(1)的真空加工设备中,其中所述冷却剂管路在大气环境中在真空隔绝的导入管路(30、31)中得到导引,其特征在于,所述真空适配器(4)具有中间容腔(2),所述中间容腔(2)一方面与所述真空隔绝的导入管路(30、31)的至少一个隔绝中间腔(32、33)连接并且另一方面与真空泵连接。 |
地址 |
列支敦士登巴尔策斯 |