发明名称 用于真空隔绝的管路的适配器
摘要 本发明涉及一种真空适配器,其用于将真空隔绝的冷却剂管路(11、12、22、23)从周围大气环境穿引到真空加工设备中,所述真空适配器具有中间容腔(2),所述中间容腔(2)一方面与真空隔绝的导入管路的至少一个隔绝中间腔(32、33)连接并且另一方面与真空泵连接。泵功率至少暂时被用于将围绕所述冷却剂管路(22、23)的隔绝中间腔抽成真空。
申请公布号 CN104685285A 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201380024949.9 申请日期 2013.05.06
申请人 欧瑞康先进科技股份公司 发明人 M·布勒斯
分类号 F16L59/14(2006.01)I;F16L41/03(2006.01)I 主分类号 F16L59/14(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 梁冰;胡斌
主权项 真空适配器(4),用于将冷却剂管路(11、12、22、23)穿引到带有真空腔(1)的真空加工设备中,其中所述冷却剂管路在大气环境中在真空隔绝的导入管路(30、31)中得到导引,其特征在于,所述真空适配器(4)具有中间容腔(2),所述中间容腔(2)一方面与所述真空隔绝的导入管路(30、31)的至少一个隔绝中间腔(32、33)连接并且另一方面与真空泵连接。
地址 列支敦士登巴尔策斯