| 发明名称 | 多层型导电膜及其制备方法和电致发光器件 | ||
| 摘要 | 本发明提出多层型导电膜及其制备方法和电致发光器件，所述多层型导电膜由依次层叠的第一层膜、第二层膜以及第三层膜组成；其中：第一层膜的材质为Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>；第二层膜的材质为Al；第三层膜的材质为MO<sub>3</sub>，M为W、Mo或Re。本发明多层型导电膜通过制备三层堆叠式的薄膜结构，得到高功函，低电阻，高透光的性能。本发明多层型导电膜的制备只需要两种金属靶材，材料简单，工艺简单，容易成膜，整个制备过程可以同一腔体中进行，不需要转移引入其他污染。 | ||
| 申请公布号 | CN104681128A | 申请公布日期 | 2015.06.03 |
| 申请号 | CN201310613012.7 | 申请日期 | 2013.11.27 |
| 申请人 | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 | 发明人 | 周明杰;陈吉星;王平;黄辉 |
| 分类号 | H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I | 主分类号 | H01B5/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司 44232 | 代理人 | 刘抗美;刘耿 |
| 主权项 | 一种多层型导电膜，其特征在于，所述多层型导电膜由依次层叠的第一层膜、第二层膜以及第三层膜组成；其中：第一层膜的材质为Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>；第二层膜的材质为Al；第三层膜的材质为MO<sub>3</sub>，M为W、Mo或Re。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 | ||