发明名称 一种铸锭炉的二次加料装置
摘要 本实用新型公开了一种铸锭炉的二次加料装置,涉及半导体制造技术领域。一种铸锭炉的二次加料装置,所述装置与铸锭炉腔体连通,所述铸锭炉腔体的顶部设有氩气进气管,所述装置包括储料仓和阀门,所述储料仓通过所述氩气进气管与铸锭炉腔体连通,所述阀门设于储料仓和氩气进气管之间,所述阀门控制所述储料仓的开闭,打开阀门时所述储料仓中的物料经过所述氩气进气管落入铸锭炉内的坩埚中。本实用新型提供的一种铸锭炉的二次加料装置,能够克服坩埚中空间利用率低,单炉生产率低,以及成品率低的缺点。
申请公布号 CN204370043U 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201420826573.5 申请日期 2014.12.23
申请人 阿特斯(中国)投资有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司 发明人 李飞龙;武泉林;霍超;李拥军;朱军;张光春
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I 主分类号 C30B29/06(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 张海英;韩国胜
主权项 一种铸锭炉的二次加料装置,所述装置与铸锭炉腔体(1)连通,其特征在于,所述铸锭炉腔体(1)的顶部设有氩气进气管(2),所述装置包括储料仓(3)和阀门(4),所述储料仓(3)通过所述氩气进气管(2)与铸锭炉腔体(1)连通,所述阀门(4)设于储料仓(3)和氩气进气管(2)之间,所述阀门(4)控制所述储料仓(3)的开闭,打开阀门(4)时所述储料仓(3)中的物料经过所述氩气进气管(2)落入铸锭炉内的坩埚(5)中。
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