发明名称 用于优化X射线噪声性能的像素结构
摘要 提供了一种用于图像传感器的像素(100),其中,像素(100)基于掺杂基板(110),在该掺杂基板上设置了轻掺杂的外延层(120)。感光结构(130)和绝缘反向偏置阱(140)被限定在外延层(120)中,并且感光结构(130)被封装在反向偏置阱(140)中。可选地,或作为补充,像素(100)包括遍及外延层的全部或至少主要部分在感光结构(130)的各侧上延伸的绝缘阱,以提供与图像传感器的相邻像素的绝缘。
申请公布号 CN102844866B 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201180019119.8 申请日期 2011.04.01
申请人 斯基恩特-X公司 发明人 奥洛夫·斯韦诺纽斯
分类号 H01L27/146(2006.01)I;G01T1/20(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种x射线传感器系统,包括:闪烁器(10),被配置为吸收x射线光子并发射可见光范围内的光子以由此产生光图像;图像传感器(20),与所述闪烁器(10)结合设置,并被配置为用来捕获所述光图像,其中,所述图像传感器(20)包括基于掺杂基板(110)的像素(100),在所述掺杂基板上设置了轻掺杂的外延层(120),其中,绝缘反向偏置阱(140)被限定在所述外延层(120)中,所述绝缘反向偏置阱(140)小于所述外延层(120),并且感光结构(130)被封装在所述反向偏置阱(140)中,所述感光结构(130)小于所述绝缘反向偏置阱(140),其中,所述感光结构(130)用作来自所述闪烁器(10)的光在其中被转换为构成信号的电载流子的耗尽区,并且所述感光结构(130)整体被包含在所述反向偏置阱(140)中。
地址 瑞典希斯塔