发明名称 |
用于优化X射线噪声性能的像素结构 |
摘要 |
提供了一种用于图像传感器的像素(100),其中,像素(100)基于掺杂基板(110),在该掺杂基板上设置了轻掺杂的外延层(120)。感光结构(130)和绝缘反向偏置阱(140)被限定在外延层(120)中,并且感光结构(130)被封装在反向偏置阱(140)中。可选地,或作为补充,像素(100)包括遍及外延层的全部或至少主要部分在感光结构(130)的各侧上延伸的绝缘阱,以提供与图像传感器的相邻像素的绝缘。 |
申请公布号 |
CN102844866B |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201180019119.8 |
申请日期 |
2011.04.01 |
申请人 |
斯基恩特-X公司 |
发明人 |
奥洛夫·斯韦诺纽斯 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;G01T1/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;吴孟秋 |
主权项 |
一种x射线传感器系统,包括:闪烁器(10),被配置为吸收x射线光子并发射可见光范围内的光子以由此产生光图像;图像传感器(20),与所述闪烁器(10)结合设置,并被配置为用来捕获所述光图像,其中,所述图像传感器(20)包括基于掺杂基板(110)的像素(100),在所述掺杂基板上设置了轻掺杂的外延层(120),其中,绝缘反向偏置阱(140)被限定在所述外延层(120)中,所述绝缘反向偏置阱(140)小于所述外延层(120),并且感光结构(130)被封装在所述反向偏置阱(140)中,所述感光结构(130)小于所述绝缘反向偏置阱(140),其中,所述感光结构(130)用作来自所述闪烁器(10)的光在其中被转换为构成信号的电载流子的耗尽区,并且所述感光结构(130)整体被包含在所述反向偏置阱(140)中。 |
地址 |
瑞典希斯塔 |