微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构及其测量方法

摘要

本发明公开了一种微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构，包括衬底、梁、下拉电极、拉动电极和衬底接触电极阵列；梁由横梁和扭转支撑梁组成，扭转支撑梁连接在衬底上；衬底接触电极阵列采用离子注入的掺杂方式形成在衬底的顶面，衬底接触电极阵列包括至少三根相互平行布置的条形电极，每根条形电极的一端连接一个压焊块；下拉电极、拉动电极、衬底接触电极阵列均连接在衬底上，衬底接触电极阵列和下拉电极位于横梁同一侧下方；拉动电极位于横梁另一侧下方。该测量结构解决了一般条形电极所存在的表面高低起伏的问题，并且获得的可动粱接触粘附信息准确。同时，本发明还公开了该测量结构的测量方法，该测量方法简单易行。

主权项

一种微机械系统中可动粱接触粘附的测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底(1)、十字梁(2)、用于静电激励的下拉电极(3)、用于粘附分离的拉动电极(4)和衬底接触电极阵列(5)；十字梁(2)由横梁(21)和与横梁(21)垂直交叉连接的扭转支撑梁(22)组成，扭转支撑梁(22)通过锚区(23、24)连接在衬底(1)上；所述的衬底接触电极阵列(5)采用离子注入的掺杂方式形成在衬底(1)的顶面，衬底接触电极阵列(5)包括至少三根相互平行布置的条形电极，相邻条形电极之间留有间隙，每根条形电极的一端连接一个压焊块；下拉电极(3)、拉动电极(4)、衬底接触电极阵列(5)均连接在衬底(1)上，衬底接触电极阵列(5)和下拉电极(3)位于横梁(21)同一侧下方，且衬底接触电极阵列(5)位于横梁(21)端部的下方；拉动电极(4)位于横梁(21)另一侧下方。