发明名称 超越探针台排列方式的方法
摘要 本发明公开了一种超越探针台排列方式的方法,其根据使用的探针卡,自定义一新位置名变量,在测试机位置名配置文件中添加该新位置名变量的配置信息,同时在对应的测试程序中增加该新位置名变量,测试时GPIB访问测试程序中的该新位置名变量,并以其替换从探针台发送过来的原位置名变量,再用该新位置名变量在位置名配置文件中查找对应的排列信息,计算得到每个被测器件的坐标信息进行测试。本发明的方法能够在不改变探针台的情况下,实现任意排列方式的测试,正常使用超常规排列方式的探针卡,突破同测时探针台对排列方式的限制。
申请公布号 CN102591624B 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201110001624.1 申请日期 2011.01.06
申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司 发明人 朱渊源;辛吉升
分类号 G06F9/44(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I 主分类号 G06F9/44(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 丁纪铁
主权项 一种超越探针台排列方式的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一:提供一探针台,所述探针台包括探针卡,所述探针卡在测试过程中和形成于硅片上的芯片相接触,每次测试过程中所述探针卡能和多个所述芯片进行接触并实现多个所述芯片的同测;所述探针台中还包括品种参数文件,所述品种参数文件中存放有探针卡信息;所述探针卡信息存储在所述品种参数文件中的位置名变量中,根据所述探针卡的排列方式的不同所述探针卡信息对应的位置名变量也不同,所述探针台的所述位置名变量的数量是由所述探针台的操作系统确定的;所述探针台和测试机相连,所述测试机通过所述探针卡和所述芯片连接;所述测试机中包括GPIB驱动、位置名配置文件和测试程序;所述GPIB驱动为所述探针台和所述测试机之间进行GPIB连接的驱动程序;所述位置名配置文件中配置有包括了所述探针台的所有所述位置名变量的信息;所述测试程序从所述位置名配置文件中获得所述位置名变量的值并根据所获得的所述位置名变量的值对所述位置名变量所确定的所述芯片进行测试;明确需要测试的探针卡的排列方式,令该排列方式为新排列方式,所述新排列方式为所述探针台的操作系统所确定的所述位置名变量所对应的所述探针卡的排列方式之外的排列方式;并自定义一能够描述所述新排列方式的新位置名变量;在所述测试机的位置名配置文件中增加该新位置名变量及其对应的配置信息;在与该探针卡对应的测试程序中增加该新位置名变量,其值与所述位置名配置文件中增加的新位置名变量的值一致;更新所述测试机的所述GPIB驱动,更新后的所述GPIB驱动具备访问所述测试机的所述测试程序并读取所述测试程序的所述新位置名变量的功能,以及所述GPIB驱动还具备将从所述测试程序读取的所述新位置名变量替换从所述探针台读取到的原位置名变量的功能;所述原位置名变量为所述探针台的所有所述位置名变量之一;步骤二:测试时,GPIB驱动访问测试机测试程序,查找所述测试程序是否存在新位置名变量;步骤三:当所述测试程序中存在新位置名变量时:GPIB驱动用该新位置名变量替换从探针台发送过来的原位置名变量;当所述测试程序中不存在新位置名变量时:保持从探针台发送过来的原位置名变量。
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