一种高度校正系统及方法

摘要

本发明提供一种高度校正系统及方法，包括：平移台，用于放置样品和/或校正物；面扫描传感器，用于获取样品表面的高度矩阵；镜头，用于接收预设高度下所述校正物的光信号和所述样品的光信号；光谱仪，用于通过狭缝收集所述镜头接收的所述校正物的光信号和所述样品的光信号；CCD，用于将所述光谱仪通过狭缝收集的所述校正物的光信号和所述样品的光信号分别转化为电信号，形成所述校正物的光谱检测信息和所述样品表面的光谱检测信息；处理器，用于根据预设高度下所述校正物的光谱检测信息以及所述样品表面的高度矩阵，将预设高度下所述样品表面的光谱检测信息校正为所述样品表面的光谱校正信息。本发明能够消除由于样品表面不平整造成的误差。

主权项

一种高度校正系统，其特征在于，包括：平移台，用于放置样品和/或校正物；面扫描传感器，用于获取所述样品表面的高度矩阵；镜头，用于接收预设高度下所述校正物的光信号和所述样品的光信号；光谱仪，用于通过狭缝收集所述镜头接收的所述校正物的光信号和所述样品的光信号；CCD，用于将所述光谱仪通过狭缝收集的所述校正物的光信号和所述样品的光信号分别转化为电信号，形成所述校正物的光谱检测信息和所述样品表面的光谱检测信息；处理器，用于根据预设高度下所述校正物的光谱检测信息以及所述样品表面的高度矩阵，将预设高度下所述样品表面的光谱检测信息校正为所述样品表面的光谱校正信息。