| 发明名称 | CVD反应器的加热机构上的支撑件和连接件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于加热CVD反应器(1)的基座(4)的设备，具有至少一个加热件(9、19)，其中，加热件(9、19)的部段或者不同的加热件(9、19)并排延伸并且借助支撑件(10、20)相对于支撑板被位置固定，其中，支撑件(10、20)分别具有形状接合地插入支撑板(29)的固定开口内的支脚(15、16、17；25、26、27)和与横向于支撑板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相连接的头部(11、12、13；21、22、23)，加热件(9、19)固定在头部(11、12、13；21、22、23)上。为了改进支撑件和连接件在加热设备上的固定，建议支脚(15、16、17；25、26、27)通过形状接合固定件(15、16、17；25、26、27)固定在支撑板(29)的固定开口(38)内，形状接合固定件(15、16、17；25、26、27)将支撑件(10、20)束缚在支撑板(29)上。 | ||
| 申请公布号 | CN104674194A | 申请公布日期 | 2015.06.03 |
| 申请号 | CN201410202884.9 | 申请日期 | 2014.05.14 |
| 申请人 | 艾克斯特朗欧洲公司 | 发明人 | P-A.伯丁;M.E.奥彭;K.艾伦;F.M.A.克劳利 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 侯宇 |
| 主权项 | 一种用于加热尤其CVD反应器(1)的基座(4)的设备，具有至少一个加热件(9、19)，其中，所述加热件(9、19)的部段或者不同的加热件(9、19)并排延伸并且借助支撑件(10、20)相对于支撑板被位置固定，其中，所述支撑件(10、20)分别具有形状接合地、牢固地插入所述支撑板(29)的固定开口内的支脚(15、16、17；25、26、27)和与横向于所述支撑板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相连接的头部(11、12、13；21、22、23)，所述加热件(9、19)固定在所述头部(11、12、13；21、22、23)上，其特征在于，所述支脚(15、16、17；25、26、27)通过形状接合固定件(15、16、17；25、26、27)固定在所述支撑板(29)的固定开口(38)内，所述形状接合固定件(15、16、17；25、26、27)将所述支撑件(10、20)沿所述柄部(14、24)的延伸方向束缚在所述支撑板(29)上。 | ||
| 地址 | 德国黑措根拉特 | ||