亚微米级精密升降装置

摘要

亚微米级精密升降装置，属于微位移技术领域。具有高灵敏度和灵活性，结构简单、调整方便、能够达到亚微米级精度，且成本低廉。基座上固定有导杆锁紧支架及与X向滚动导轨滑块滑动连接的X向滚动导轨一，基座的安装孔内装有滚珠导套，导杆锁紧支架内固定有导杆锁紧套环，X向滑块与X向滚动导轨滑块一和滑块连接板固接，X向滑块与滚针导向器连接；与X向滚动导轨滑块二滑动连接的X向滚动导轨二与Z向滑块固接，X向滚动导轨滑块二与滑块连接板固接，Z向滑块与升降导杆固接，升降导杆与滚珠导套和导杆锁紧套环相配合；微分头通过安装在微分头支座内的微分头锁紧套环锁紧，微分头通过联轴器与滚针导向器相连。本发明用于亚微米级升降场合。

主权项

一种亚微米级精密升降装置，包括基座(1)、螺旋机构、楔块机构及锁紧机构；其特征是：所述的螺旋机构包括微分头支座(7)、滚针导向器(8)、联轴器(9)、微分头(10)及微分头锁紧套环(11)；所述的楔块机构包括Z向滑块(14)、X向滚动导轨一(15)、X向滚动导轨滑块一(16)、滑块连接板(17)、X向滑块(18)、X向滚动导轨二(19)及X向滚动导轨滑块二(20)；所述的锁紧机构包括两个滚珠导套(2)、两个导杆锁紧套环(4)、两个导杆锁紧支架(5)及两个升降导杆(6)；所述的基座(1)上固定有X向滚动导轨一(15)，所述的X向滚动导轨滑块一(16)与X向滚动导轨一(15)滑动连接；基座1上设有两个平台(1‑1)，所述的两个平台(1‑1)位于X向滚动导轨一(15)的外侧，两个平台(1‑1)相对于基座(1)的X向中心线对称设置，每个平台(1‑1)上均设有一个安装孔，每个所述的安装孔内匹配装有一个滚珠导套(2)，所述的两个导杆锁紧支架(5)沿X向固定在基座(1)上；每个导杆锁紧支架(5)上端中部设有轴孔，轴孔的侧壁沿轴向开缝，每个轴向开缝的轴孔内分别固定装有一个所述的导杆锁紧套环(4)，导杆锁紧套环(4)与滚珠导套(2)同轴设置；所述的X向滑块(18)的下端面为水平面且与X向滚动导轨滑块一(16)固接，X向滑块(18)的上端面为斜面，X向滑块(18)的斜面与所述的滑块连接板(17)贴合并固接，X向滑块(18)的后端中部与所述的滚针导向器(8)连接；所述的Z向滑块(14)的上端面为水平面，Z向滑块(14)的下端面为斜面，Z向滑块(14)的斜面与所述的X向滚动导轨二(19)贴合且固接，X向滚动导轨二(19)与所述的X向滚动导轨滑块二(20)滑动连接，X向滚动导轨滑块二(20)的下端面与滑块连接板(17)上端面贴合且固接，由Z向滑块(14)和X向滑块(18)组成楔形滑块；Z向滑块(14)下端面与所述的两个升降导杆(6)固接，两个升降导杆(6)各与相对应的滚珠导套(2)和导杆锁紧套环(4)相配合；基座(1)的后端固定有所述的微分头支座(7)，微分头支座(7)上设有安装孔，微分头支座(7)的安装孔内固定有所述的微分头锁紧套环(11)，所述的微分头(10)通过微分头锁紧套环(11)锁紧固定，微分头(10)的输出杆通过联轴器(9)与滚针导向器(8)相连。