纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统

摘要

一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

主权项

一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，其特征在于，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置；所述磁场响应特性测试装置包括支架及安装在所述支架上的磁场发生装置、磁场移动机构和磁场屏蔽机构，所述磁场发生装置包括线圈和导磁磁极，所述导磁磁极与所述磁场移动机构连接，所述磁场屏蔽机构安装在所述支架上并对应于所述样品台设置；还包括电场响应特性测试装置，所述电场响应特性测试装置设置在所述真空腔内并设置在所述样品台上方，所述电场响应特性测试装置包括垂直电场施加平板和/或水平电场施加平板以及平板移动机构，所述垂直电场施加平板和/或水平电场施加平板分别与所述平板移动机构连接；还包括宽频信号测试分析装置，所述宽频信号测试分析装置包括信号产生装置、信号传输装置和信号分析装置，所述信号产生装置及所述信号分析装置分别与所述信号传输装置连接，所述信号传输装置与所述真空腔连接并对应于所述样品台设置，所述信号传输装置包括高频探针臂和/或低频探针臂、探针臂移动机构和探针，所述高频探针臂和/或低频探针臂与所述探针臂移动机构连接，所述探针安装在所述高频探针臂和/或低频探针臂的前端；还包括光响应特性测试装置，所述光响应特性测试装置包括光源和光响应特性测试部件，所述光响应特性测试部件设置在所述真空腔内。