用于气体输送系统的涂布的方法

摘要

一种涂布用于等离子体工艺系统的气体输送系统的气体通道的内表面的方法，该等离子体处理系统诸如等离子体蚀刻系统，该方法包括（a）使耐腐蚀材料的流体前驱体流动通过气体通道，并沉积流体前驱体的层完全地覆盖该气体通道的内表面；（b）从内表面去除过量的流体前驱体；（c）固化该流体前驱体的沉积层，以形成耐腐蚀的材料涂层。

主权项

一种用于涂布气体输送系统的气体通道的内表面的方法，该气体输送系统被配置成输送气体进入等离子体处理系统的腔室，所述方法包括：(a)使耐腐蚀材料的流体前驱体流动通过所述气体通道，并沉积所述流体前驱体的层以覆盖所述气体通道的所述内表面；(b)从所述内表面去除过量的流体前驱体；(c)固化所述流体前驱体的所述沉积层，以形成耐腐蚀的材料涂层，其中，所述气体通道在不锈钢管材中，其中，至少一个不锈钢波纹管焊接到所述不锈钢管材，并且还包括：在焊接所述波纹管到所述管材之前，用防止所述流体前驱体粘附的掩蔽剂涂布所述波纹管的所述内表面。