陶瓷座体微漏自动检测机及其检测方法

摘要

本发明公开一种陶瓷座体微漏自动检测机，其包括投料部、上料机械手、盒盖机械手、收料机械手、检漏工作部及收料部，检漏工作部包括氦漏质谱仪，投料部用于放置阵列排布的陶瓷底座，上料机械手用于在投料部吸取一排料后移动至检漏工作部，盒盖机械手用于移动至检漏工作部，并能与检漏工作部形成密封腔体，氦漏质谱仪用于检测陶瓷座体的泄漏情况，收料机械手用于吸起检漏工作部中的整排料后按料的检漏合格情况放置在收料部内。本发明能有效降低陶瓷底座检漏的劳动强度、减少人为误操作、检测可靠、分档准确、提高检测质量。

主权项

一种陶瓷座体微漏自动检测机，其特征在于，包括投料部、上料机械手、盒盖机械手、收料机械手、检漏工作部及收料部，检漏工作部包括氦漏质谱仪，投料部用于放置阵列排布的陶瓷底座，上料机械手用于在投料部吸取一排料后移动至检漏工作部，盒盖机械手用于移动至检漏工作部，并能与检漏工作部形成密封腔体，氦漏质谱仪用于检测陶瓷座体的泄漏情况，收料机械手用于吸起检漏工作部中的整排料后按料的检漏合格情况放置在收料部内；投料部、收料部安装于一工作平台。