具有增强的电子检测的带电粒子显微术

摘要

具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像I_j的集合{I_j}，由此，集合{I_j}的基数是M＞1；对每个图像I_j中的每个像素p_i，确定累积信号强度S_ij，因此产生信号强度的相关集合{S_ij}；使用集合{S_ij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ²_S；将这些值S和σ²_S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。

主权项

一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，所述通量响应于由输入带电粒子束照射所述样本而产生，其特征在于，所述方法包括下列步骤：‑ 使用检测器来拦截所述通量的至少一部分，以便产生所述样本的至少一部分的像素化图像I_j的集合{I_j}，由此，所述集合{I_j}的基数是M > 1；‑ 对于每个图像I_j中的每个像素p_i，确定累积信号强度S_ij，由此产生信号强度的相关集合{S_ij}；‑ 使用所述集合{S_ij}来计算下列值：　　■ 每像素位置i的平均信号强度S；　　■ 每像素位置i的S中的方差σ²_S；‑ 使用这些值S和σ²_S来产生所述样本的所述部分中的至少一个图，所述图选自包括下列的组：　　■ 第一图，其表示作为位置的函数的所检测的电子的能量的变化；　　■ 第二图，其表示作为位置的函数的所检测的电子的数目的变化。