发明名称 Procédé d'obtention d'une pellicule de silicium.
摘要
申请公布号 BE588164(A1) 申请公布日期 1960.06.16
申请号 BE19600588164 申请日期 1960.03.01
申请人 MERCK & CO. INC. 发明人 MICHEL BOUDART;PETER IMMANUEL POLLAK
分类号 C01B33/02;C23C16/24;C30B25/02;(IPC1-7):C01B 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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