| 摘要 |
<p>본 발명은 더미 부재를 이용하지 않고 세라믹 히터의 가열면의 온도 균일성을 높이는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 세라믹 히터의 제조 방법은, 질화알루미늄 분말을 주체로 하고, 희토류 산화물 분말을 0.03 중량%∼1 중량% 함유하는 저온 소결 원료 분말로 이루어진 내층 성형체(32)의 표리 양면을, 금속 메쉬로 이루어진 저항 발열체(14, 16)를 개재시켜 체적 저항률이 10Ω㎝ 이상인 질화알루미늄 소결체로 이루어진 한 쌍의 외층(30, 30) 사이에 유지한 상태에서 1600℃∼1750℃에서 소성함으로써 세라믹 히터(10)를 얻는 것이다.</p> |
