| 摘要 |
<p>본 발명은 마이크로 가스센서 및 가스센서 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대기 환경, 실내 환경을 모니터링하며, 관리하기 위한 마이크로 가스센서 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명의 마이크로 가스센서는 가스가 접촉하며, 공급된 전류에 의해 발열하는 감지소자, 상기 감지소자의 양 측면에 형성되며, 상기 감지소자로 전류를 공급하는 전극, 상기 감지소자와 전극의 하단에 형성되며, 상기 감지소자가 증착되는 부분은 요철 구조를 갖는 멤브레인 및 상기 멤브레인의 하단에 형성된 기판을 포함하며, 상기 감지소자 요철 구조임을 특징으로 한다.</p> |
