硬质皮膜被覆部件及冶金工具以及靶

摘要

本发明提供一种耐磨损性优异的硬质皮膜被覆部件及使用该部件的冶金工具，以及用于形成硬质皮膜的靶。所述硬质皮膜被覆部件(1)，其在基材(2)上具备硬质皮膜(3)，其特征为，硬质皮膜(3)的组成由(Ti_aCr_bAl_cSi_dY_eR_f)(C_yN_z)构成，且所述R为选自Ho、Sm、Dy、La的一种以上的元素，在所述a、b、c、d、e、f、y、z为原子比时，满足0.05≤a≤0.3、0.05≤b≤0.3、0.4≤c≤0.65、0≤d≤0.05、0≤e≤0.05、0.005≤f≤0.05、a+b+c+d+e+f＝1、0≤y≤0.3、0.7≤z≤1、y+z＝1。

主权项

一种硬质皮膜被覆部件，其在基材上具备硬质皮膜，其特征在于，所述硬质皮膜的组成由(Ti_aCr_bAl_cSi_dY_eR_f)(C_yN_z)构成，且所述R为选自Ho、Sm、Dy中的一种以上的元素，或者所述R由La和选自Ho、Sm、Dy中的一种以上的元素构成，在所述a、b、c、d、e、f、y、z为原子比时，满足0.05≤a≤0.30.05≤b≤0.30.4≤c≤0.650≤d≤0.050≤e≤0.050.005≤f≤0.05a+b+c+d+e+f＝10≤y≤0.30.7≤z≤1y+z＝1。