电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置

摘要

本发明的目的在于提供一种电子显微镜及电子显微镜用试样保持装置，其能在电子显微镜内容易且安全地营造气体或液体环境，以高分辨率观察其中的试样及其反应。在具备保持试样(23)的试样保持单元(6)的电子显微镜中，上述试样(23)配置于电子束能通过的毛细管(17)内部，在上述毛细管(17)内部具有向上述毛细管(17)内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。

主权项

一种电子显微镜，其具备释放一次电子束的电子源、将从上述电子源释放的电子束聚焦并照射于试样的电子束控制单元、检测从试样产生的电子的检测器、基于来自上述检测器的信号而制成试样图像的运算装置、显示上述试样图像的显示单元、以及存储上述所显示的试样图像的单元，上述电子显微镜的特征在于，上述试样配置于上述电子束能通过的毛细管内部，具有向上述毛细管内部供给气体或液体的供给装置、以及回收上述气体或液体的回收装置，一边使上述气体或液体流动一边获得上述试样的试样图像。