一种水射流辅助激光化学刻蚀的装置

摘要

本实用新型公开了一种水射流辅助激光化学刻蚀的装置，属于特种加工的应用领域。本装置由三大系统组成，分别为激光系统、水射流系统、化学系统，其特点在于先利用激光的高能量和水射流的冲蚀作用共同加工材料表面，初次加工结束以后，转动手摇轮，使得材料通过升降工作台完全浸入到化学液体中，利用化学液体的腐蚀作用，使得加工材料表面尽可能地减少熔渣，降低重铸层厚度。通过本实用新型所提供的装置，可以实现在加工材料表面刻蚀出所需的凹槽，并且凹槽表面没有明显的熔渣、重铸层等等，从而得到良好的加工效果。

主权项

一种水射流辅助激光化学刻蚀的装置，其特征在于，包括激光系统、水射流系统、化学系统，所述激光系统的激光束(8)通过反射镜(9)反射进入激光头(6)，所述激光头(6)还需要通入辅助气体氧气(7)，所述辅助气体氧气(7)与激光束(8)经激光头(6)共同射到材料(4)上；所述水射流系统的水射流束(10)由电动机(18)驱动，所述电动机(18)通过V带(17)连接泵(14)，所述泵(14)通过水管(15)吸入水箱(16)中的清水并且与喷枪(13)连接，所述喷枪(13)的头部安装喷嘴(12)，所述喷嘴(12)的头部安装针头(11)，所述针头(11)喷出水射流束(10)冲刷材料(4)；所述化学系统的手摇轮(5)通过转动来调节升降工作台(3)的高度，所述升降工作台(3)把材料(4)送入到化学液体(2)中腐蚀。