| 摘要 |
열방사 히터의 장착 기구 및 실링 기구의 축직각 방향의 투영 면적을 감소시켜 챔버의 용적을 줄인 열처리 장치를 제공한다. 열처리 장치는, 열처리 대상의 작업물을 수용하는 챔버로서, 내부를 외부로부터 구분하는 격벽을 가지는 챔버와; 격벽을 관통하여 마련된 열방사 히터를 구비하고; 열방사 히터는, 연장부의 외주면에 배치되는 실링 링로서, 연장부의 외주면에 내주면이 접촉하여 챔버의 내부를 외부로부터 기밀하게 실링하는 실링 링과; 유리관의 축 방향에 열방사부와 실링 링의 사이에 배치되어서 실링 링을 열방사부로부터 열차폐하는 열차폐판으로서, 연장부를 따른 내주면이 형성된 열차폐판을 구비한다. |
