SPR传感器元件和SPR传感器

摘要

本发明提供一种具有极其优异的检测灵敏度的SPR传感器元件和SPR传感器。该SPR传感器元件设置有：下包层；芯层，该芯层的至少一部分邻接下包层；以及金属层，该金属层覆盖芯层。芯层由均一层和配置在均一层与下包层之间的梯度层构成。均一层的折射率N_CO满足1.34≤N_CO<1.44的关系。下包层的折射率N_CL和均一层的折射率N_CO满足N_CO-N_CL≥0.020的关系。梯度层的折射率沿厚度方向从下包层所在侧向均一层所在侧在大于N_CL至小于N_CO的范围内逐渐地增加。

主权项

一种SPR传感器元件，其包括：下包层；芯层，所述芯层的至少一部分邻接所述下包层；和金属层，所述金属层覆盖所述芯层，其中：所述芯层包括均一层和配置在所述均一层与所述下包层之间的梯度层；所述均一层的折射率N_CO满足1.34≤N_CO<1.44的关系；所述下包层的折射率N_CL和所述均一层的折射率N_CO满足N_CO‑N_CL≥0.020的关系；并且所述梯度层的折射率沿所述梯度层的厚度方向从所述下包层所在侧向所述均一层所在侧在大于所述N_CL至小于所述N_CO的范围内逐渐地增加。