一种镀膜装置以及该装置中的旋转装置

摘要

本实用新型涉及一种镀膜装置以及该装置中的旋转装置。一种镀膜装置，它包括镀膜旋转装置和蒸发源，所述镀膜旋转装置包括公转工件盘、基片夹具以及马达；所述公转工件盘上至少设置有一个孔位，每个孔位上对应放置有一个所述基片夹具，该基片夹具上设置有一个所述马达，所述马达用于驱动镀膜元件旋转；所述蒸发源置于公转工件盘的下方。蒸镀过程中，在工件盘公转的同时，可以实现镀膜元件的自转，一次装夹即可实现柱状镀膜元件柱面的均匀镀膜，大大提高了生产效率，而且大大降低了常规技术中多次装夹造成的品质不良，具有结构简单、易于操作的优点。本实用新型还提供了一种旋转装置，它用于立体几何结构的镀膜元件进行一次性的连续光学薄膜蒸镀。

主权项

一种镀膜装置，其特征在于：它包括镀膜旋转装置和用于发射蒸发粒子（8）的蒸发源（7），所述镀膜旋转装置包括公转工件盘（2）、基片夹具（3）以及马达（4）；所述公转工件盘（2）上至少设置有一个孔位，每个孔位上对应放置有一个所述基片夹具（3），该基片夹具（3）上固定设置有一个所述马达（4），所述马达（4）用于驱动镀膜元件（5）旋转；所述蒸发源（7）置于公转工件盘（2）的下方。